Aktuelles › ZEISS stei­gert die Effi­zi­enz in mul­ti­di­men­sio­na­len Workflows

For­scher pro­fi­tie­ren von bes­se­rer Pro­ben­vor­be­rei­tung, 3D-Tomo­gra­phie und Datendokumentation

Bei der Unter­su­chung von Pro­ben in 3D gelan­gen For­scher in der Mate­ri­al­for­schung und den Lebens­wis­sen­schaf­ten nun schnel­ler als bis­her in tief unter der Ober­flä­che lie­gende Regio­nen. Erwei­te­run­gen im FIB-SEM ZEISS Cross­beam 350/550 und der Soft­ware ZEISS Atlas 5 ermög­li­chen es, mul­ti­di­men­sio­nale Stu­dien schnel­ler durch­zu­füh­ren und eine bes­sere Daten­qua­li­tät zu erzie­len. Dies ist beson­ders geeig­net für die addi­tive Fer­ti­gung, Elek­tro­nik, Bat­te­rie­for­schung, Bio­ma­te­ria­lien und Unter­su­chun­gen bio­lo­gi­scher Proben.

Zugang zu tief lie­gen­den Struk­tu­ren und schnelle Bear­bei­tung von Objekten

For­scher, die in kor­re­la­ti­ven Stu­dien Rönt­gen­mi­kro­sko­pie-Daten nut­zen, um im FIB-SEM die gesuch­ten Stel­len anzu­steu­ern, kön­nen ihre Arbeits­ab­läufe wei­ter ver­bes­sern: Die neu ein­ge­führte, paten­tierte Laser­FIB auf ZEISS Cross­beam 350/550 ermög­licht die schnelle, Gal­lium-freie Bear­bei­tung von grö­ße­ren Flä­chen einer Probe. Außer­dem ermög­licht sie den Zugang zu tief ver­bor­ge­nen Struk­tu­ren. Der Mate­ri­al­ab­trag mit dem Laser wird in einer geson­der­ten Kam­mer durch­ge­führt, um eine Kon­ta­mi­na­tion des FIB-SEMs zu ver­mei­den. Der Fem­to­se­kun­den­la­ser der nächs­ten Gene­ra­tion sorgt für einen mas­si­ven Mate­ri­al­ab­trag in kur­zer Zeit ohne stö­rende durch den Laser ver­ur­sachte Wär­me­ef­fekte. Große Volu­mina kön­nen bis zu 50-mal schnel­ler als mit einer Plasma-Ionen­quelle abge­tra­gen werden.

Mit der Laser­FIB kön­nen Struk­tu­ren wie Bal­ken für Bie­ge­ver­su­che und zylin­dri­sche Prüf­linge für nano­me­cha­ni­sche Tests her­ge­stellt wer­den. Des Wei­te­ren kön­nen Pro­ben für das Rönt­gen­mi­kro­skop ZEISS Xra­dia Ultra, große Quer­schnitte für EBSD-Stu­dien (Elec­tron Backscat­te­red Dif­frac­tion) oder ganze TEM-Netz­chen prä­pa­riert werden.

Bes­sere Abläufe für 3D-Tomo­gra­phie und Datendokumentation

ZEISS stellt für ZEISS Atlas 5 Erwei­te­run­gen für die Bild­ge­bung und 3D-Tomo­gra­phie vor sowie ein Tool­kit für Ana­lyse und Report­ing. Kor­re­la­tive Arbeits­ab­läufe wer­den dadurch ver­bes­sert, dass das Wie­der­fin­den von Regio­nen erleich­tert wurde. Z.B. kön­nen Laser­FIB- oder FIB-SEM-Arbei­ten geziel­ter durch­ge­führt wer­den nach erfolg­rei­cher Kor­re­la­tion mit Rönt­gen­mi­kro­sko­pie­da­ten. Anwen­der kön­nen die Vor­teile des schnel­le­ren und genaue­ren Wie­der­fin­dens von inter­es­san­ten Regio­nen nut­zen. Sobald eine Region loka­li­siert ist, über­nimmt die „Thin & Fast Tomo­gra­phie“ die Arbeit. Dies ist ein Ver­fah­ren zur Tomo­gramm­auf­nahme, Schicht­di­cken­mes­sung sowie bes­se­ren Visua­li­sie­rung und Daten­ver­ar­bei­tung mit der paten­tier­ten True-Z-Tech­no­lo­gie von ZEISS. Diese misst nach­ein­an­der jede Schicht­di­cke und rekon­stru­iert das Tomo­gramm unter Berück­sich­ti­gung der varia­blen z‑Schichtdicke. Dadurch wird die Seg­men­tie­rung der 3D-Daten erleich­tert und die 3D- bzw. 4D-Model­lie­rung genauer.

Dank der Ver­bes­se­rung an der Tool­box in ZEISS Atlas 5 kön­nen Nut­zer, die Ergeb­nisse effek­ti­ver als je zuvor ana­ly­sie­ren, prä­sen­tie­ren und mit Kol­le­gen tei­len. Zusam­men­hänge in einem mul­ti­di­men­sio­na­len Daten­satz wer­den auf einen Blick sicht­bar. Daten meh­re­rer bild­ge­ben­der oder ana­ly­ti­scher Mikro­sko­pie­tech­ni­ken kön­nen gleich­zei­tig pro­blem­los visua­li­siert wer­den. Die Auf­be­rei­tung der Daten für Vor­träge oder Vor­le­sun­gen wird durch das neue Export­mo­dul Enhan­ced Brow­ser Based Viewer von ZEISS erleichtert.
Diese Lösun­gen erwei­tern das neue Para­digma in der Mikro­sko­pie, das ZEISS Anfang des Jah­res auf der M&M 2019, Port­land, USA, vor­ge­stellt hat.

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