SIOS Web­i­nar · Hoch­prä­zise Dicken­mes­sung mit tak­ti­len Tastern

Der all­ge­mein anhal­tende Trend zu Prä­zi­sion, Minia­tu­ri­sie­rung und Auto­ma­ti­sie­rung in Indus­trie und For­schung stellt hohe Anfor­de­run­gen an Prä­zi­si­ons­mess­sys­teme, wel­che die geo­me­tri­schen Abmes­sun­gen von Objek­ten erfassen.

Ein Spe­zi­al­fall ist dabei die hoch­ge­naue ein­di­men­sio­nale Mes­sung der Dicke von Prä­zi­si­ons­ob­jek­ten. Eigens kon­zi­pierte Mess­plätze auf der Grund­lage inter­fe­ro­me­tri­scher tak­ti­ler Mess­tas­ter sind in der Lage, die Dicke mit Mess­un­si­cher­hei­ten im Bereich von 10 nm zu erfas­sen. Bei­spiele hier­für sind End­maß­kom­pa­ra­to­ren oder Mess­plätze für die Mes­sung der Dicke von Prä­zi­si­ons­op­ti­ken oder Siliziumwafern.

In unse­rem ca. 45-minü­ti­gen Web­i­nar (8:30 und 15:30 Uhr) erhal­ten Sie einen Ein­blick in die Pro­ble­ma­tik der hoch­prä­zi­sen Dicken­mes­sung von aus­ge­dehn­ten Objek­ten mit tak­ti­len Messköpfen.

Begin­nend mit der Beschrei­bung typi­scher Ein­flüsse und Bei­träge zur Mess­un­si­cher­heit, ver­glei­chen wir ver­schie­dene Gerä­te­prin­zi­pien für diese tak­tile Längenmessung.

Wir wer­den Ihnen die inter­fe­ro­me­tri­schen tak­ti­len Mess­tas­ter LM 20 und LM 50 von SIOS sowie deren Vor­teile gegen­über ande­ren hoch­ge­nauen Mess­tas­tern vorstellen.

Dar­über hin­aus wer­den Anwen­dungs­bei­spiele für hoch­prä­zise Dicken­mes­sun­gen wie der SIOS-End­maß­kom­pa­ra­tor, der Lin­sen- oder Wafer­di­cken­mess­platz gezeigt.

Schließ­lich stel­len wir Bei­spiele vor, wie bestehende (tak­tile) Län­gen- und Dicken­mess­plätze mit Inter­fe­ro­me­tern auf­ge­rüs­tet wer­den kön­nen, um ihre Auf­lö­sung und Prä­zi­sion zu erhöhen.

Über­blick:

• Geo­me­tri­sche Defi­ni­tion der Dicke
• Prin­zi­pien der tak­ti­len Dickenmessung
• Ein­flüsse und Bei­träge zur Messunsicherheit
• SIOS inter­fe­ro­me­tri­sche tak­tile Mess­köpfe LM 20 und LM 50
• Anwen­dungs­bei­spiel Endmaßkomparator
• Anwen­dungs­bei­spiel Linsendickenmessplatz
• Anwen­dungs­bei­spiel Waferdickenmessplatz
• Auf­rüs­tung eines bestehen­den Län­gen- und Dicken­mess­auf­baus mit Interferometern

Im Anschluss beant­wor­tet Ihnen die Refe­ren­ten gern Ihre Fragen.
Das Web­i­nar fin­det in eng­li­scher Spra­che statt.

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