Aktuelles › Zeiss • For­scher-Team für die Ent­wick­lung der EUV-Litho­gra­phie mit dem Deut­schen Zukunfts­preis 2020 ausgezeichnet

  • EUV-Litho­gra­phie ermög­licht Chips für modernste Smart­pho­nes und auto­ma­ti­sier­tes Fahren
  • Welt­weit füh­rende Fer­ti­gungs­tech­no­lo­gie stärkt deutsch-euro­päi­sche Posi­tion im glo­ba­len Halbleitergeschäft

Bun­des­prä­si­dent Frank-Wal­ter Stein­meier gab heute in einer fei­er­li­chen Zere­mo­nie in Ber­lin die Gewin­ner des Deut­schen Zukunfts­preis 2020 bekannt. Für ihr Pro­jekt „EUV-Litho­gra­phie – Neues Licht für das digi­tale Zeit­al­ter“ zeich­nete der Bun­des­prä­si­dent das Exper­ten-Team um Dr. Peter Kürz, ZEISS Sparte Semi­con­duc­tor Manu­fac­tu­ring Tech­no­logy (SMT), Dr. Michael Kös­ters, TRUMPF Laser­sys­tems for Semi­con­duc­tor Manu­fac­tu­ring, und Dr. Ser­giy Yulin, Fraun­ho­fer-Insti­tut für Ange­wandte Optik und Fein­me­cha­nik IOF in Jena, mit sei­nem Preis für Tech­nik und Inno­va­tion aus.

Erfolg­rei­che Markt­ein­füh­rung schafft Arbeitsplätze

Das Gewin­ner-Team hat einen wesent­li­chen Bei­trag zur Ent­wick­lung und indus­tri­el­len Seri­en­reife der EUV-Tech­no­lo­gie geleis­tet. Das Resul­tat ist eine durch über 2.000 Patente abge­si­cherte Zukunfts­tech­no­lo­gie, die Basis für die Digi­ta­li­sie­rung unse­res All­tags ist und Anwen­dun­gen wie Auto­no­mes Fah­ren, 5G, Künst­li­che Intel­li­genz und wei­tere zukünf­tige Inno­va­tio­nen ermög­licht. Dank EUV wur­den bei ZEISS und TRUMPF bis heute mehr als 3.300 Hoch­tech­no­lo­gie­ar­beits­plät­zen geschaf­fen und 2019 ein Jah­res­um­satz von mehr als einer Mil­li­arde Euro erwirt­schaf­tet – Ten­denz steigend.

Leis­tungs­fä­hi­gere, ener­gie­ef­fi­zi­en­tere und kos­ten­güns­ti­gere Chips

Welt­weit ein­zi­ger Her­stel­ler für EUV-Litho­gra­phie-Maschi­nen ist die nie­der­län­di­sche Firma ASML, die als Inte­gra­tor die Archi­tek­tur des Gesamt­sys­tems und ins­be­son­dere die EUV-Quelle ent­wor­fen hat. Schlüs­sel­kom­po­nen­ten die­ser Maschi­nen sind der Hoch­leis­tungs­la­ser von TRUMPF für die EUV-Licht­quelle und das opti­sche Sys­tem von ZEISS. EUV steht für „extrem ultra­vio­lett“, also Licht mit extrem kur­zer Wel­len­länge. Mit die­ser kon­kur­renz­lo­sen Schlüs­sel­tech­no­lo­gie las­sen sich in die­sem und dem nächs­ten Jahr­zehnt weit­aus leis­tungs­fä­hi­gere, ener­gie­ef­fi­zi­en­tere und kos­ten­güns­ti­gere Mikro­chips her­stel­len als jemals zuvor. Denn ohne wei­ter­hin stark stei­gende Rechen­leis­tung keine erfolg­rei­che Digi­ta­li­sie­rung: Heute hat bereits ein Smart­phone die mil­lio­nen­fa­che Rechen­power des Com­pu­ters, der 1969 die erste Mond­lan­dung beglei­tete. Ermög­licht wird dies durch einen kaum fin­ger­kup­pen­gro­ßen Mikro­chip, auf dem sich mehr als fünf­zehn Mil­li­ar­den Tran­sis­to­ren befinden.

Das Fer­ti­gungs­ver­fah­ren für die neu­es­ten Chip-Genera­tio­nen fußt auf der Nut­zung von EUV-Licht, die bis­he­rige Gren­zen des tech­nisch Mach­ba­ren über­win­det. Von der Licht­quelle über das opti­sche Sys­tem im Vakuum bis zur Ober­flä­chen­be­schich­tung der dabei ein­ge­setz­ten Spie­gel musste prak­tisch die gesamte Belich­tungs­tech­no­lo­gie von Grund auf neu ent­wi­ckelt werden.

Die EUV-Litho­gra­phie ist eine deutsch-euro­päi­sche Erfolgsgeschichte

„Herz­li­chen Glück­wunsch an unser Gewin­ner-Team, das stell­ver­tre­tend für Tau­sende EUV-Ent­wick­ler steht. Wir freuen uns gemein­sam mit unse­ren Part­nern sehr über die Aus­zeich­nung des Bun­des­prä­si­den­ten, die eine enorm auf­wän­dige Ent­wick­lungs­leis­tung und ihre Über­set­zung in eine auf dem Welt­markt domi­nie­rende Tech­no­lo­gie wür­digt“, so Dr. Mar­kus Weber, Mit­glied des Vor­stands der ZEISS Gruppe und Lei­ter der Sparte Semi­con­duc­tor Manu­fac­tu­ring Tech­no­logy. „ZEISS steht für opti­sche Höchst­leis­tung und Prä­zi­sion. Dar­auf kommt es in der Chip­fer­ti­gung von jeher an. Die EUV-Tech­no­lo­gie ermög­licht als Sprun­gin­no­va­tion wei­ter­hin große Fort­schritte in der Digi­ta­li­sie­rung in Wirt­schaft und Gesell­schaft. Wir sind stolz dar­auf, gemein­sam mit unse­rem stra­te­gi­schen Part­ner ASML, TRUMPF und Fraun­ho­fer dazu beizutragen.“

TRUMPF Vize-Chef und Chief Tech­no­logy Offi­cer Peter Leib­in­ger: „Wir freuen uns sehr, dass Dr. Michael Kös­ters, Dr. Peter Kürz und Dr. Ser­giy Yulin von TRUMPF, ZEISS und dem Fraun­ho­fer IOF den Deut­schen Zukunfts­preis gewon­nen haben. Sie ste­hen mit ihrem Erfin­der­geist, Tech­nik­ver­ständ­nis, Durch­hal­te­ver­mö­gen und gutem Mit­ein­an­der gera­dezu bei­spiel­haft dafür, wie sich durch starke Part­ner­schaf­ten Zukunfts­tech­no­lo­gien zur Indus­trie­reife ent­wi­ckeln lassen.
Die Aus­zeich­nung führt uns ein­mal mehr vor Augen, dass eine starke Indus­trie und eine her­vor­ra­gende For­schungs­land­schaft eine ent­schei­dende Rolle für die Her­aus­for­de­run­gen die­ses Jahr­hun­derts spie­len. Das Mam­mut-Pro­jekt EUV-Litho­gra­phie schafft auch im Corona-Jahr Arbeits­plätze und sorgt dar­über hin­aus für eine Vor­rei­ter­rolle Euro­pas bei der Her­stel­lung moderns­ter Mikrochips.“

TRUMPF lie­fert mit dem welt­weit stärks­ten gepuls­ten Indus­trie­la­ser eine Schlüs­sel­kom­po­nente für die Belich­tung moderns­ter Mikro­chips, die in jedem moder­nen Smart­phone zum Ein­satz kom­men. Es gibt keine wirt­schaft­li­che Alter­na­tive zu die­sem Laser, um das für die EUV-Litho­gra­phie benö­tigte Licht zu erzeugen.

Güte und Form des Beleuch­tungs­sys­tems sowie das Auf­lö­sungs­ver­mö­gen der Pro­jek­ti­ons­op­tik von ZEISS bestim­men dar­über, wie klein Struk­tu­ren auf Mikro­chips sein kön­nen. Wesent­li­che Inno­va­tio­nen ste­cken daher in den Spie­geln, die in das Optik-Sys­tem ein­ge­setzt wer­den. Da selbst kleinste Unre­gel­mä­ßig­kei­ten zu Abbil­dungs­feh­lern füh­ren, wurde für die EUV-Litho­gra­phie der welt­weit „prä­zi­seste“ Spie­gel ent­wi­ckelt. Fraun­ho­fer fun­gierte als wich­ti­ger For­schungs­part­ner bei der anspruchs­vol­len Beschich­tungs­tech­nik für die groß­flä­chi­gen Spiegel.

„Wir gra­tu­lie­ren den For­schern von ZEISS, TRUMPF und dem Fraun­ho­fer IOF zu die­ser groß­ar­ti­gen Aus­zeich­nung ihrer exzel­len­ten Arbeit. Sie haben mit der EUV-Litho­gra­phie eine Tech­no­lo­gie ent­wi­ckelt, die welt­weit für einen Digi­ta­li­sie­rungs­schub sor­gen wird und damit auch den Grund­stein für wei­tere Inno­va­tio­nen legt“, so Fraun­ho­fer-Prä­si­dent Prof. Rei­mund Neu­ge­bauer. „In den fast drei Jahr­zehn­ten der For­schung waren Fraun­ho­fer-Wis­sen­schaft­le­rin­nen und ‑Wis­sen­schaft­ler maß­geb­lich an der Ent­wick­lung der ers­ten EUV-Spie­gel und Strahl­quel­len betei­ligt. Dass die EUV-Litho­gra­phie nun in der Anwen­dung ange­kom­men ist, ist auch der inten­si­ven Koope­ra­tion von Wis­sen­schaft und Wirt­schaft sowie dem For­scher­geist und dau­er­haf­ten Enga­ge­ment aller Betei­lig­ten zu verdanken.“

Ehrung für inno­va­tive inge­nieur- und natur­wis­sen­schaft­li­che Leistungen

Der Deut­sche Zukunfts­preis wird seit 1997 jähr­lich ver­ge­ben, gehört zu den wich­tigs­ten Wis­sen­schafts­aus­zeich­nun­gen in Deutsch­land und ist mit 250.000 Euro dotiert. Er ehrt her­aus­ra­gende tech­ni­sche, inge­nieur- und natur­wis­sen­schaft­li­che Leis­tun­gen, die zu anwen­dungs­rei­fen Pro­duk­ten füh­ren. Die hoch­ka­rä­tige Jury wählt in einem mehr­stu­fi­gen Pro­zess aus einer Viel­zahl an Pro­jek­ten jedes Jahr drei For­schungs­teams und ihre Inno­va­tion in die End­runde des Prei­ses, den „Kreis der Bes­ten“. Neben der Inno­va­ti­ons­leis­tung bewer­tet die Jury dabei auch das wirt­schaft­li­che und gesell­schaft­li­che Poten­zial der Ent­wick­lung. Neben dem EUV-Gewin­ner-Team gehörte auch ein Team der Carl Zeiss Medi­tec zum Kreis der Bes­ten. Damit war ZEISS als ers­tes Unter­neh­men in der Geschichte des Deut­schen Zukunfts­prei­ses dop­pelt nomi­niert. Der Preis wurde von Bun­des­prä­si­dent Frank-Wal­ter Stein­meier am 25. Novem­ber 2020 in Ber­lin unter Pan­de­mie-Beschrän­kun­gen in der Verti Music Hall ver­lie­hen. Das Preis­geld spen­den ZEISS und TRUMPF für gemein­nüt­zige Zwecke.

Über ZEISS

ZEISS ist ein welt­weit füh­ren­des Tech­no­lo­gie­un­ter­neh­men der opti­schen und opto­elek­tro­ni­schen Indus­trie. In den vier Spar­ten Semi­con­duc­tor Manu­fac­tu­ring Tech­no­logy, Indus­trial Qua­lity & Rese­arch, Medi­cal Tech­no­logy und Con­su­mer Mar­kets erwirt­schaf­tete die ZEISS Gruppe zuletzt einen Jah­res­um­satz von über 6,4 Mil­li­ar­den Euro (Stand: 30.9.2019).

ZEISS ent­wi­ckelt, pro­du­ziert und ver­treibt für seine Kun­den hoch­in­no­va­tive Lösun­gen für die indus­tri­elle Mess­tech­nik und Qua­li­täts­si­che­rung, Mikro­sko­pie­lö­sun­gen für Lebens­wis­sen­schaf­ten und Mate­ri­al­for­schung sowie Medi­zin­tech­nik­lö­sun­gen für Dia­gnos­tik und The­ra­pie in der Augen­heil­kunde und der Mikro­chir­ur­gie. ZEISS steht auch für die welt­weit füh­rende Litho­gra­phie­op­tik, die zur Her­stel­lung von Halb­lei­ter­bau­ele­men­ten von der Chip­in­dus­trie ver­wen­det wird. ZEISS Mar­ken­pro­dukte wie Bril­len­glä­ser, Foto­ob­jek­tive und Fern­glä­ser sind welt­weit begehrt und Trendsetter.

Mit die­sem auf Wachs­tums­fel­der der Zukunft wie Digi­ta­li­sie­rung, Gesund­heit und Indus­trie 4.0 aus­ge­rich­te­ten Port­fo­lio und einer star­ken Marke gestal­tet ZEISS den tech­no­lo­gi­schen Fort­schritt mit und bringt mit sei­nen Lösun­gen die Welt der Optik und angren­zende Berei­che wei­ter voran. Grund­lage für den Erfolg und den wei­te­ren kon­ti­nu­ier­li­chen Aus­bau der Tech­no­lo­gie- und Markt­füh­rer­schaft von ZEISS sind die nach­hal­tig hohen Auf­wen­dun­gen für For­schung und Entwicklung.

Mit über 31.000 Mit­ar­bei­tern ist ZEISS in fast 50 Län­dern mit rund 30 Pro­duk­ti­ons­stand­or­ten, 60 Ver­triebs- und Ser­vice­stand­or­ten sowie 25 For­schungs- und Ent­wick­lungs­stand­or­ten welt­weit aktiv. Haupt­stand­ort des 1846 in Jena gegrün­de­ten Unter­neh­mens ist Ober­ko­chen, Deutsch­land. Allei­nige Eigen­tü­me­rin der Dach­ge­sell­schaft, der Carl Zeiss AG, ist die Carl-Zeiss-Stif­tung, eine der größ­ten deut­schen Stif­tun­gen zur För­de­rung der Wissenschaft.

Wei­tere Infor­ma­tio­nen unter www.zeiss.de

Über TRUMPF

Das Hoch­tech­no­lo­gie­un­ter­neh­men TRUMPF bie­tet Fer­ti­gungs­lö­sun­gen in den Berei­chen Werk­zeug­ma­schi­nen und Laser­tech­nik. Die digi­tale Ver­net­zung der pro­du­zie­ren­den Indus­trie treibt das Unter­neh­men durch Bera­tung, Platt­form- und Soft­ware­an­ge­bote voran. TRUMPF ist Tech­no­lo­gie- und Markt­füh­rer bei Werk­zeug­ma­schi­nen für die fle­xi­ble Blech­be­ar­bei­tung und bei indus­tri­el­len Lasern.

2019/20 erwirt­schaf­tete das Unter­neh­men mit rund 14.300 Mit­ar­bei­tern einen Umsatz von 3,5 Mil­li­ar­den Euro (vor­läu­fige Zah­len). Mit mehr als 70 Toch­ter­ge­sell­schaf­ten ist die Gruppe in fast allen euro­päi­schen Län­dern, in Nord- und Süd­ame­rika sowie in Asien ver­tre­ten. Pro­duk­ti­ons­stand­orte befin­den sich in Deutsch­land, Frank­reich, Groß­bri­tan­nien, Ita­lien, Öster­reich und der Schweiz, in Polen, Tsche­chien, den USA, Mexiko, China und Japan.

Wei­tere Infor­ma­tio­nen über TRUMPF fin­den Sie unter: www.trumpf.com

Über Fraun­ho­fer

Die Fraun­ho­fer-Gesell­schaft mit Sitz in Deutsch­land ist die welt­weit füh­rende Orga­ni­sa­tion für anwen­dungs­ori­en­tierte For­schung. Mit ihrer Fokus­sie­rung auf zukunfts­re­le­vante Schlüs­sel­tech­no­lo­gien sowie auf die Ver­wer­tung der Ergeb­nisse in Wirt­schaft und Indus­trie spielt sie eine zen­trale Rolle im Inno­va­ti­ons­pro­zess. Als Weg­wei­ser und Impuls­ge­ber für inno­va­tive Ent­wick­lun­gen und wis­sen­schaft­li­che Exzel­lenz wirkt sie mit an der Gestal­tung unse­rer Gesell­schaft und unse­rer Zukunft. Die 1949 gegrün­dete Orga­ni­sa­tion betreibt in Deutsch­land der­zeit 74 Insti­tute und For­schungs­ein­rich­tun­gen. Rund 28 000 Mit­ar­bei­te­rin­nen und Mit­ar­bei­ter, über­wie­gend mit natur- oder inge­nieur­wis­sen­schaft­li­cher Aus­bil­dung, erar­bei­ten das jähr­li­che For­schungs­vo­lu­men von 2,8 Mil­li­ar­den Euro. Davon fal­len 2,3 Mil­li­ar­den Euro auf den Leis­tungs­be­reich Vertragsforschung.

Wei­tere Infor­ma­tio­nen über Fraun­ho­fer fin­den Sie unter: www.fraunhofer.de

Pres­se­kon­takt

Fre­de­ric Franz
ZEISS Semi­con­duc­tor Manu­fac­tu­ring Technology
+49 7364 20 62838
+49 151 187 68 954
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Dr. Manuel Thomä
TRUMPF
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Janis Eit­ner
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