Aktuelles › JENOPTIK • Inves­ti­tion in eine hoch­mo­derne Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage

Neue Fer­ti­gungs­an­lage für einen zwei­stel­li­gen Mil­lio­nen­be­trag zur Her­stel­lung zukünf­ti­ger Sen­sor-Genera­tio­nen für die Halbleiterausrüstungsindustrie.

Jen­op­tik inves­tiert in eine neue Elek­tro­nen­strahl-Litho­gra­fie-Anlage (E‑Beam), die Mitte 2022 am Stand­ort Dres­den in Betrieb genom­men wird. Die neue Anlage wird bei dem in Jena ansäs­si­gen E‑Beam-Tech­no­lo­gie­spe­zia­lis­ten Vis­tec Elec­tron Beam GmbH gebaut. Sie wird ein Kern­ele­ment bei der Ent­wick­lung und Pro­duk­tion anspruchs­volls­ter Prä­zi­si­ons­sen­so­ren der nächs­ten Genera­tion bil­den, die für die Wei­ter­ent­wick­lung der DUV- und die Eta­blie­rung der hoch­ge­nauen EUV-Wafer-Belich­tung in der Halb­lei­ter­fer­ti­gung unver­zicht­bar sind.

Eine der­ar­tige Elek­tro­nen­strahl-Litho­gra­fie-Anlage kann Struk­tu­ren mit einer Prä­zi­sion im 10-Nano­me­ter-Bereich (unge­fähr 1/2.000stel eines Haa­res) auf bis zu 300 mm gro­ßen Sub­stra­ten „schrei­ben“. Jen­op­tik setzt die­ses Ver­fah­ren unter ande­rem für die Her­stel­lung von ultra­prä­zi­sen Mikro­op­ti­ken ein, die das funk­tio­nale Herz­stück unse­rer Sen­so­ren bil­den. Hier­bei wird die enorme Prä­zi­sion und Fle­xi­bi­li­tät der neuen Elek­tro­nen­strahl-Litho­gra­fie-Anlage dazu bei­tra­gen, dass auch zukünf­tige Evo­lu­ti­ons­stu­fen in der Halb­lei­ter­be­lich­tungs­tech­no­lo­gie erfolg­reich mit den benö­tig­ten Sen­so­ren unter­stützt wer­den können.

Jen­op­tik ist einer der füh­ren­den Ent­wick­lungs- und Pro­duk­ti­ons­part­ner welt­weit für opti­sche und mikro­op­ti­sche Sys­teme mit höchs­ten Qua­li­täts­an­sprü­chen. Jen­op­tik ist an der Ent­wick­lung und Ein­füh­rung künf­ti­ger Litho­gra­fie-Tech­no­lo­gien der Halb­lei­ter­fer­ti­gung betei­ligt und greift dabei auf mehr als 150 Jahre Know-how in der Optik, Sen­so­rik und Prä­zi­si­ons­me­cha­nik zurück, das in der Divi­sion Light & Optics gebün­delt ist. Im Sep­tem­ber die­ses Jah­res hatte Jen­op­tik die opti­sche Kom­pe­tenz vor allem in der opti­schen Ana­lyse- und Mess­tech­nik zudem mit der Über­nahme von TRIOPTICS mit mehr als 400 Mitarbeiter*innen und Stand­or­ten welt­weit gestärkt.

ÜBER JENOPTIK

Opti­sche Tech­no­lo­gien sind die Basis unse­res Geschäfts: Jen­op­tik ist ein glo­bal agie­ren­der Tech­no­lo­gie-Kon­zern und in den drei auf Pho­to­nik basie­ren­den Divi­sio­nen Light & Optics, Light & Pro­duc­tion und Light & Safety aktiv. Dar­über hin­aus bie­tet Jen­op­tik unter der Marke TRIOPTICS opti­sche Mess- und Fer­ti­gungs­sys­teme für die Qua­li­täts­kon­trolle von Lin­sen, Objek­ti­ven und Kame­ra­mo­du­len. Unter der Marke VINCORION ist das mecha­tro­ni­sche Geschäft zusam­men­ge­fasst. Zu unse­ren Schlüs­sel­märk­ten zäh­len vor allem die Halb­lei­ter­indus­trie, die Medi­zin­tech­nik, Auto­mo­tive und Maschi­nen­bau, Ver­kehr, Luft­fahrt sowie die Sicher­heits- und Wehr­tech­nik. Rund 4.400 Mit­ar­bei­ter arbei­ten bei Jen­op­tik welt­weit, Haupt­sitz des Kon­zerns ist Jena (Deutsch­land). Die JENOPTIK AG ist an der Deut­schen Börse in Frank­furt notiert und wird im SDax und TecDax geführt. Im Geschäfts­jahr 2019 erzielte Jen­op­tik einen Umsatz von rund 855 Mio Euro

Kon­takt

Tho­mas Fritsche
Lei­ter Inves­tor Relations
+49364165–2291
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